Système d'eau de refroidissement

　　Le système d'eau de refroidissement de procédé se compose des éléments suivants : refroidisseurs, pompes, échangeurs de chaleur, réservoirs d'eau, filtres et équipements de procédé.

　　 Refroidisseur d'eau : Fournissez une source froide pour le système d'eau de refroidissement.

　　Pompe à eau : pressuriser l'eau pour assurer sa circulation dans le système de refroidissement.

　　 Échangeur de chaleur : utilisez cet équipement pour échanger de la chaleur entre le système d'eau glacée et le système d'eau glacée afin de transférer la chaleur générée à l'extrémité charge du système vers le système d'eau glacée.Il existe de nombreux types d'échangeurs de chaleur, qui peuvent être divisés en type calandre et tube, type à plaques, type à plaques et ailettes, type à caloduc, etc. selon leur forme.En comparaison, l’échangeur thermique à plaques présente les avantages d’un faible encombrement et d’une grande zone de transfert de chaleur.Compte tenu des caractéristiques de coût de l'espace et de la superficie de​​Dans l'usine de semi-conducteurs, les équipements à faible encombrement sont préférés pour économiser la superficie du terrain et les coûts d'ingénierie.

　　Réservoir d'eau : Le réservoir d'eau dans le système ouvert joue principalement le rôle de compléter la source d'eau.Le réservoir d'eau dans le système fermé doit choisir un réservoir d'eau d'expansion.Le vase d'expansion a trois fonctions.La première consiste à contenir et à compenser la dilatation et la contraction de l'eau dans le système ;l'autre est de fournir une pression stable au système d'eau en circulation fermé et de jouer un rôle dans la stabilisation du système ;Le troisième est une indication de la pompe à eau du système, généralement le vase d'expansion envoie un signal pour démarrer ou arrêter la pompe à eau du système.

　　 filtre : filtre les particules solidesIl existe deux systèmes relativement indépendants dans le système d’eau de refroidissement du procédé : l’eau glacée et l’eau de refroidissement.L'eau glacée est fournie par le refroidisseur, et l'eau glacée et l'eau de refroidissement échangent de la chaleur pour refroidir l'eau de refroidissement et réduire la température de l'équipement.L'eau est pompée de l'équipement de production via la pompe à eau jusqu'à l'échangeur de chaleur pour assurer la température de l'eau de refroidissement du processus en contrôlant la quantité d'eau réfrigérée, puis envoyée à l'équipement de la ligne de production après avoir passé le filtre, puis de nouveau à la pompe à eau.L'eau de refroidissement du processus de formation circule à plusieurs reprises.L'eau glacée est directement renvoyée au refroidisseur.